گیج وکیوم MPG401 اینفیکون

گیج وکیوم MPG401 اینفیکونیک فشارسنج فول‌رنج(Full Range Vacuum Gauge) است که فشار را از محدوده اتمسفر تا 5×10⁻⁹ mbar به‌صورت دقیق، پیوسته و قابل‌اعتماد اندازه‌گیری می‌کند.

این مدل با ترکیب دو فناوری پیرانی (Pirani) و کاتد سرد (Inverted Magnetron Cold Cathode) عملکردی پایدار ارائه می‌دهد و در سیستم‌های وکیوم متوسط تا وکیوم بسیار بالا کاربرد گسترده‌ای دارد.

یکی از ویژگی‌های مهم گیج وکیوم MPG401 اینفیکون، طراحی تمام‌فلزی (Metal‑Sealed / All‑Metal) است. برخلاف مدل MPG400 که از آب‌بندی FPM (Viton) استفاده می‌کند، MPG401 از آب‌بندی کاملاً فلزی بهره می‌برد.

این ساختار نرخ نشتی (Leak Rate) را کاهش می‌دهد، میزان گازدهی (Outgassing) را کم می‌کند و پایداری سیستم را در کاربردهای UHV افزایش می‌دهد.

بنابراین گیج وکیوم MPG401 اینفیکون برای فرآیندهای حساس مانند نیمه‌هادی، آنالیز سطح، شتاب‌دهنده‌های ذرات، میکروسکوپ‌های الکترونی و سیستم‌های تحقیقاتی انتخابی ایده‌آل م

حسوب می‌شود.

علاوه بر این، MPG401 قابلیت Bakeout تا 150°C دارد. هنگامی که بخش الکترونیک و شیلد مغناطیسی جدا می‌شود، کاربر می‌تواند گیج را تا این دما گرم کند.

این فرآیند آلودگی داخلی را کاهش می‌دهد، رسیدن به وکیوم بالا را سرعت می‌بخشد و دقت اندازه‌گیری را در کاربردهای فوق‌حساس افزایش می‌دهد.

لینک داخلی

گیج وکیوم فول‌رنج Pfeiffer PKR261 | طراحی تمام‌فلزی | ترکیب پیرانی + کاتد سرد | اندازه‌گیری 1000 تا 10⁻⁹ mbar

گیج وکیوم فول‌رنج INFICON Gemini MPG500 | ترکیب پیرانی + کاتد سرد | میدان مغناطیسی نشتی بسیار کم | اندازه‌گیری 1000 تا 10⁻⁹ mbar

گیج وکیوم فول‌رنج Pfeiffer PKR251 | ترکیب پیرانی + کاتد سرد | اندازه‌گیری 1000 تا 5×10⁻⁹ mbar

سنسور خلأ رسانایی گرمایی DN16 | گیج خلأ حرارتی ادواردز انگلستان (کپی)گیج وکیوم فول‌رنج Edwards WRG‑S | ترکیب پیرانی + کاتد سرد | اندازه‌گیری 1000 تا 10⁻⁹ mbar

سنسور خلأ پیرانی Pfeiffer TPR 265 | گیج پیرانی دقیق با فیلامان تنگستن

نحوه عملکردگیج وکیوم MPG401 اینفیکون

گیج MPG401 از فناوری <strong>Combined Gauge استفاده می‌کند؛ یعنی دو سنسور مستقل در یک بدنه قرار گرفته‌اند و کل محدوده فشار را بدون نیاز به چند سنسور مجزا اندازه‌گیری می‌کنند.

سنسور پیرانی (Pirani Gauge)

این سنسور فشار را از اتمسفر تا حدود 10⁻² mbar اندازه‌گیری می‌کند. در این روش، یک فیلامان نازک گرم می‌شود و انتقال حرارت گاز اطراف آن مقدار فشار را مشخص می‌کند.

هرچه فشار بیشتر باشد، فیلامان گرمای بیشتری از دست می‌دهد و دمای آن کاهش می‌یابد. با کاهش فشار، انتقال حرارت کمتر می‌شود و فیلامان گرم‌تر باقی می‌ماند. مدار الکترونیکی گیج این تغییرات را تحلیل می‌کند و مقدار فشار را محاسبه می‌کند.

سنسور کاتد سرد (Inverted Magnetron Cold Cathode)

در فشارهای کمتر از 10⁻² mbar، سنسور کاتد سرد فعال می‌شود. این سنسور با یونیزه کردن مولکول‌های گاز، جریان یون تولید می‌کند و فشار را تا حدود 5×10⁻⁹ mbar اندازه‌گیری می‌کند. چون این سنسور فاقد فیلامان است، در برابر Vent ناگهانی مقاوم می‌ماند و طول عمر بالایی دارد.

سوئیچ خودکار بین دو سنسور

مدار داخلی MPG401 به‌صورت هوشمند بهترین سنسور را در هر محدوده فشار انتخاب می‌کند. در نتیجه، کاربر یک خروجی پیوسته، دقیق و بدون وقفه دریافت می‌کند.

طراحی Metal‑Sealed و قابلیت Bakeout

این طراحی باعث می‌شود:

• نرخ نشتی بسیار کم شود
• گازدهی داخلی کاهش یابد
• دقت اندازه‌گیری در UHV افزایش پیدا کند
• امکان Bakeout تا 150°C فراهم باشد
• سیستم سریع‌تر به وکیوم بالا برسد

 جدول ویژگی‌ها و مشخصات فنی

 مزایا و نقاط قوت محصول

• پوشش کامل محدوده فشار تنها با یک گیج
• طراحی تمام‌فلزی → مناسب برای UHV
• نرخ نشتی و گازدهی بسیار پایین
• قابلیت Bakeout تا 150°C
• ترکیب فناوری پیرانی + کاتد سرد
• سوئیچ خودکار بین دو سنسور
• طول عمر بالا و عملکرد پایدار
• مناسب برای کاربردهای فوق‌حساس
• نصب آسان و ابعاد فشرده