گیج وکیوم فول‌رنج Pfeiffer PKR261

گیج وکیوم Pfeiffer PKR261 یک فشارسنج فول‌رنج (Full Range Gauge) می باشد که فشار را از محدوده اتمسفر تا وکیوم بسیار بالا به‌صورت پیوسته و دقیق اندازه‌گیری می‌کند.

این مدل با ترکیب دو فناوری پیرانی (Pirani) و کاتد سرد (Cold Cathode – Inverted Magnetron) بازه 1000 تا 10⁻⁹ mbar را پوشش می‌دهد و به همین علت برای کاربردهای حساس مانند UHV، صنایع نیمه‌هادی، شتاب‌دهنده‌های ذرات، تجهیزات آنالیز سطح و میکروسکوپ‌های الکترونی انتخابی ایده‌آل محسوب می‌شود.

یکی از ویژگی‌های مهم PKR261، طراحی تمام‌فلزی (All‑Metal) است. این ساختار میزان گازدهی (Outgassing) و نرخ نشتی (Leak Rate) را به‌شدت کاهش می‌دهد و امکان دستیابی به وکیوم بالا و فوق‌العاده بالا را فراهم می‌کند.

علاوه بر این، PKR261 قابلیت Bakeout دارد و می‌تواند همراه با سیستم وکیوم تا دمای مشخصی گرم شود؛ در نتیجه آلودگی داخلی کاهش می‌یابد و سیستم سریع‌تر به وکیوم بالا می‌رسد.

این مدل در نسخه‌های DN25 KF و DN40 CF عرضه می‌شود و نصب آن در بسیاری از سیستم‌های وکیوم پیشرفته بسیار آسان است.

لینک داخلی

سنسور خلأ رسانایی گرمایی DN16 | گیج خلأ حرارتی ادواردز انگلستان (کپی)گیج وکیوم فول‌رنج Edwards WRG‑S | ترکیب پیرانی + کاتد سرد | اندازه‌گیری 1000 تا 10⁻⁹ mbar

گیج وکیوم فول‌رنج Pfeiffer PKR251 | ترکیب پیرانی + کاتد سرد | اندازه‌گیری 1000 تا 5×10⁻⁹ mbar

گیج وکیوم فول‌رنج Pfeiffer PKR361 | ترکیب پیرانی + کاتد سرد High‑Current | اندازه‌گیری 1000 تا 10⁻⁹ mbar

سنسور خلأ پیرانی Pfeiffer TPR 265 | گیج پیرانی دقیق با فیلامان تنگستن

سنسور خلأ پیرانی Pfeiffer TPR 280/281 | گیج پیرانی دقیق با فیلامان تنگستن/نیکل

 نحوه عملکرد گیج وکیوم PKR261

گیج PKR261 از فناوری Combined Gauge استفاده می‌کند؛ بنابراین دو سنسور مستقل در یک بدنه ترکیب شده‌اند و کاربر می‌تواند کل محدوده فشار را بدون تعویض سنسور اندازه‌گیری کند.

سنسور پیرانی (Pirani Gauge)

این سنسور فشار را از اتمسفر تا حدود 10⁻² mbar اندازه‌گیری می‌کند. در این روش، یک فیلامان نازک با جریان الکتریکی گرم می‌شود و انتقال حرارت گاز اطراف آن مقدار فشار را تعیین می‌کند.

هرچه فشار بیشتر باشد، فیلامان گرمای بیشتری از دست می‌دهد و دمای آن کاهش می‌یابد. با کاهش فشار، انتقال حرارت کمتر می‌شود و فیلامان گرم‌تر باقی می‌ماند. مدار الکترونیکی گیج این تغییرات را تحلیل می‌کند و مقدار فشار را محاسبه می‌کند.

سنسور کاتد سرد (Cold Cathode Gauge)

در فشارهای کمتر از 10⁻² mbar، سنسور کاتد سرد فعال می‌شود. این سنسور بر پایه فناوری Inverted Magnetron کار می‌کند و فشار را تا حدود 10⁻⁹ mbar اندازه‌گیری می‌کند.

در این روش، میدان الکتریکی و مغناطیسی باعث حرکت مارپیچی الکترون‌ها می‌شود و برخورد آن‌ها با مولکول‌های گاز، جریان یون تولید می‌کند. مقدار این جریان با فشار متناسب است و مدار الکترونیکی آن را به مقدار فشار تبدیل می‌کند.

چون این سنسور فاقد فیلامان است، در برابر Vent ناگهانی مقاوم بوده و طول عمر بالایی دارد.

سوئیچ خودکار بین دو سنسور

مدار داخلی PKR261 به‌صورت خودکار بهترین سنسور را در هر محدودهٔ فشار انتخاب می‌کند. بنابراین کاربر یک خروجی پیوسته، دقیق و بدون وقفه دریافت می‌کند و نیازی به استفاده از دو گیج مجزا برای اندازه‌گیری فشارهای مختلف ندارد.

قابلیت Bakeout و طراحی All‑Metal

طراحی تمام‌فلزی PKR261 به گیج اجازه می‌دهد در فرآیند Bakeout شرکت کند. در این فرآیند، سیستم وکیوم گرم می‌شود تا بخار آب و گازهای جذب‌شده آزاد شوند. این ویژگی مزایای زیر را به همراه دارد:

• کاهش Outgassing

• رسیدن سریع‌تر به وکیوم بالا

• افزایش دقت اندازه‌گیری

• بهبود عملکرد در کاربردهای UHV

 جدول ویژگی‌ها و مشخصات فنی

 مزایا و نقاط قوت محصول

• پوشش کامل محدوده فشار تنها با یک گیج
• طراحی تمام‌فلزی → مناسب برای UHV
• قابلیت Bakeout → کاهش آلودگی و رسیدن سریع‌تر به وکیوم بالا
• نرخ نشتی و گازدهی بسیار پایین
• سوئیچ خودکار بین دو سنسور
• طول عمر بالا و پایداری مناسب
• مناسب برای کاربردهای فوق‌العاده حساس
• نصب آسان و ابعاد فشرده